鈰基拋光液的性能直接影響拋光工件的表面質(zhì)量，是雙面拋光的關(guān)鍵鍵元素之一。鈰基拋光液一般含有超細(xì)固體研磨顆粒、表面活性劑、氧化劑和穩(wěn)定劑，其中固體研磨顆粒具有切割效果，去除需要去除的化學(xué)變化，氧化劑產(chǎn)生化學(xué)腐蝕和溶解，從而溶解碎片。在拋光過程中，鈰基拋光液的類型、形狀、尺寸、濃度和化學(xué)成分，pH值、粘度、流速和流路都會(huì)影響去除率。