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磨料在cmp作用在拋光液中
來源：www.cetcheck.com | 發布時間：2022年11月29日上海鈰基拋光液供應商根據磨料成分，拋光液一般分為單磨料拋光液.混合磨料拋光液和復合磨料拋光液研磨劑在cmp拋光過程中的功能是：
1.機械動作的實施者起到機械研磨的作用；
2.材料傳輸的功能不僅是在拋光墊和拋光材料之間傳輸新鮮的漿料，還可以去除材料表面的反應物，泄漏材料的新表面，進一步減少反應。
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