常用的拋光粉末來自混合稀土，輔以氟化物、石英、鈣、鋇、鐵和少量其他雜質。20世紀60年代至70年代，拋光粉末的制備工藝和生產方法取得了相對集中的研究成果。稀土拋光材料常用的制備工藝是在固態下對稀土富集物進行化學變化，從而轉化為機械化學性能穩定的化合物。用來制備稀土拋光材料的稀土氧化物含量為40~70%(含30~65%氧化物)，粒度為1~4微米。拋光粉價格相對便宜，切割率高。主要用于拋光陰極射線管、平板玻璃和鏡物基拋光粉末是通過化學沉淀產生的。